主要技术指标：

　 Ø 有效空间：Ø500×500

　 Ø 系统工作真空度：5×10-3Pa
　
　 Ø 系统极限真空度：3×10-4Pa
　
　 Ø 系统最高加热温度：150℃

　 Ø 系统工作温度：100℃

　 Ø 控温精度：0.1 ℃

　 Ø 温度均匀性：±2℃，九点测温。

Ø 温度超调范围：2℃

Ø 真空获得部分：由分子泵、机械泵（干泵）组成。

Ø 控制部分：PLC、松下温控模块、触摸屏等

Ø 真空测量部分：全量程真空计

　 我公司可根据您的具体需求设计 , 加工 。