偏摆仪规格（mm）：
型号

中心高(mm)

测量直径(mm)

精度

平行方向(μm)

垂真方向(μm)

2010

100

≤170

≤8

≤5

3017

170

≤270

≤8

≤5

5017

170

≤270

≤8

≤5

5025

250

≤460

≤8

≤5

5030

300

≤560

≤8

≤5

10017

170

≤270

≤10

≤8

10025

250

≤460

≤10

≤8

10030

300

≤560

≤10

≤8

20025

250

≤460

≤30

≤20

20030

300

≤560

≤30

≤20