无移动部件微泵传统

　　微泵在泵进出口都有可移动的阀部件，起单向流动作用。可移动阀片缺点是不易微机械加工，使用寿命短。无移动部件微泵是指在泵的进出口没有可移动的单向阀部件，而采用特殊管道形状，其作用相当于单向阀。其特点是加工简单，使用寿命长。

　　本微泵是一种带无移动部件微泵。其结构是泵的入口出口分别设有起单向阀作用的双环管道。该双环管道设计来源于1920年美国专利Tesla阀。双环管道特点是反流压力损失大于正流压力损失。山东精密焊管压电片（外置）带动泵膜使泵腔体积周期性改变。

　　微管道二维数值模拟利用Fluent商业软件，对Tesla阀管道进行二维数值模拟。可以看出，反流的管道产生更多涡结构。不同管道结构微泵二维数值模拟利用流体分离特性，进一步研究了在微泵中起单向阀作用的几种管道的特性，山东真空泵并且对管道进行优选。

　　该工艺流程只需一步光刻，微泵有两层PDMS结构组成。工艺条件：采用日本信越公司的KE103，PDMS与凝固剂的体积比为101，在室温下放置10h以上完全固化，或是在85下加热15min以后固化。整个加工过程简单，费用低，且PDMS材料透明，便于实验观测。

　　实际微泵测试实验采用微PIV粒子成像技术，测量微泵流量及流场性质。微泵进出口接有毫米量级管道，在上游储有液体。泵驱动采用压点膜片致振。示踪粒子采用直径1m荧光粒子，用连续汞灯光源激发荧光粒子发光，高速时使用双脉冲激光器。

　　结论

　　通过实验，微泵工作性能良好。可以通过改变输入信号频率控制流量。实现工作频率在6002000Hz下，微泵流量0.010.1Ls.用微PIV粒子成像技术测量了微泵流场特性及流量。微泵起单向阀作用的特殊管道部分没有可移动部件，大大延长了泵的使用寿命，便于一体化加工。微泵材料采用PDMS，材料价格低。综合考虑，微泵具有寿命长、可控性好、价格低廉等优点。