真空油扩散增压泵，在原超高真空扩散泵的基础上，采取改进扩压器出口管道直径，改变水冷方法，增大油锅面积，增加二、三级喷嘴扩散面积，使用双层水冷帽，并使用275硅油等措施，其极限真空1度可抽到5×10-10，达到普通扩散泵水平。

　　PY-4型泵就是一例，工作范围扩宽到10-1～10-10托之间，能在1×10-3托到5×10-9托达满抽速，这样使用就方便了。它可直接与机械泵串联使用，抽速150～200升/秒；在1×10-3托时的*大前级耐压达1.2托，这在玻璃油扩散泵的改进方面是个可喜的努力。

　　金属扩散泵与玻璃扩散泵比有很多的优点：例如抽速可以做得很大，采取一些措施后极限真空度可以提的很高，坚固耐用，泵芯易于调整、便于维修等等。所以，它在国民经济各领域和空间、三叶罗茨真空泵原子能等尖端技术领域中均得到广泛的应用。它的抽气作用同样是与工作液和蒸气喷射器有关。在喷嘴组件内因泵液加热锅加热使内部压强升高所具有的位能，通过喷嘴后转变成高速蒸气流所具有的动能，由高速喷出的气流在抽气方向上的动量转换而产生了抽气作用。

　　例如K-150型四级金属油扩散泵，它是由三级伞形喷口和一级喷射式喷口、三根蒸气导管和由它构成的“迷宫”式分馏结构所组成。在出口端另设有挡油器，用以减少泵油损耗。有三级喷口，一级比一级大，呈宝塔形。这是因为第1级位于进气端，主要从增大泵的抽速来考虑。因为喷口与泵壁的间隙越大，气体扩散的有效面积就越大，气体经过一次压缩后，压强增大，密度较高，在较小的面积里就能通过，所以，第2、3级喷口与泵壁的间隙做得越来越小，这样它还可以阻止压强高的气体反扩散到高真空端去，使泵的极限真空提高。