密封元件的状态冷泵的制冷是靠He膨胀吸热来实现的，因此各个密封件的状态就显得尤为重要，根据日常维护的经验知道，三个密封件对冷泵温度和真空抽速的影响明显，密封件直接影响冷泵*低温度，当它受到损坏时，冷泵*低温度只能到20K，密封件一般是不会受到损坏，只是长时间运行后效果变差，因此需要定期进行维护和更换以便保证冷泵状态。

　　冷泵抽真空速度慢判定冷泵工作状态主要参数有：工作温度、极限真空、冷泵抽速等。根据日常经验产生此问题的原因可能为压缩机、冷泵或者动力供给。对于动力供给是*容易确认的，只要动力提供的冷却循环水温度、流量满足要求动力方面就没有问题。

　　从冷泵本身结构来看影响抽速的问题点就较多了，气冷罗茨泵我们常见的原因主要有以下几点：1）15K吸附矩阵使用时间久了，本身吸附能力变差，需要进行更换或者重新再生，一般来说吸附矩阵在蒸发等较干净环境下工作，博山水泵厂家它的使用寿命可以达到3年，环境较差的条件下它使用寿命在1年左右，因此对它的检查和更换需要作好记录与维护；2）15K、80K冷阱表面保护层破坏，当冷阱上面的保护层被破坏后，其吸附水气等能力变差，影响抽速效果；3）冷泵驱动组件，它里面有很多元件影响冷泵抽速：密封件虽然影响冷泵的温度，但是冷泵的温度直接决定了冷泵抽速，因此它们的状态好坏影响着冷泵的抽速；两级冷头影响着冷泵再生后的使用寿命，虽然它们对*低温度没有任何影响，但是如果两级冷头中的任一个状态不好都将导致抽速慢的情况发生，且每次再生后使用的时间均很短，有的只有十几炉的使用寿命就需要重新再生，因此对它们的保养和定期检查是十分必要的。